FCVD系統

德國ARNODLD自光纖發展以來總是提供MCVD和PCVD基礎車床,比如: SEL, Stuttgart; IPHT; Philips, Eindhoven; Schott, Mainz; 從事獨立研發過程,2005年收購HEATHWAY公司，并與LOGITEX公司合作，我們現在可為研發過程提供完整的不銹鋼氣柜系統和光纖拉絲塔。
通用玻璃車床，自動化氣體供應和混合系統，Restoxyd室控制內部壓力，MCVD車床上可安裝的感應電爐，成為FCVD系統感應電爐移動架。
MCVD系統用的噴燈可通過快速接頭拆卸，感應電爐移動架可方便將感應電爐移入設備中間安裝位置。成為FCVD系統。

MFC質量流量計規格:
數字ProfiBus MFC
典型精度:   ±1%，設定點為20~100% 滿量程　
典型精度:   ±0.2%，為2~２0% 滿量程
重復性：    ± 0.3% 讀數
分辨率：  0.1%滿量程
工作溫度： 10°C ~ 50°C (環境)

FCVD系統中氣體濃度測量系統： (另選）
3個“Lorex” 氣體傳感器，測量SiCl4, GeCL4, POCl3液氣摻雜物。
通常我們測量重量：xx mg/min 液氣（PoCl3, GeCl3, SiCl4)在載氣（氧氣）中重量。但你也可以計算體積和百分比。
氣體濃度傳感器/輸送控制系統 可重現蒸氣輸送控制的行業標準。氣體濃度傳感器已成為半導體制造行業的行業標準，可用于在 CVD 和 MOCVD 工藝流程中，高精度監控前體化學蒸氣和摻雜氣體，從而實現可重現的輸送控制。經生產驗證該系統能為您提供：通過嚴格控制制程氣體和前體化學蒸氣的輸送，提高工藝的可重現性和良率。通過更高效地利用前體化學品、更充分地利用前體化學源、降低氣體流向排氣口的時間，從而降低工序成本。通過獲取設備和工藝工程師可直接讀取的定量信息，設備間的匹配更為簡便。通過內置診斷工具，為氣體和蒸氣輸送系統的故障排除提供幫助。
氣體濃度測量系統
改進過程重復性
增加產量
低成本操作
使得工具-工具匹配方便
方便錯誤診斷，優化氣體傳送系統

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